Nanometer-nivo teknoloji mezi gen ladan: nanometer-nivo gwose presizyon ak mezi deplasman, ak nanometer-nivo mezi topografi. Gen de direksyon devlopman prensipal pou teknoloji mezi nanometer.
Youn se teknoloji a enteferometri optik, ki itilize frings yo enteferans nan limye amelyore rezolisyon an nan mezi a. Metod mezi yo enkli: doub-frekans laze entefewometri, optik enteferometri optik, enteferometri X-ray, F-P estanda Metod mezi, elatriye, ka itilize pou mezi egzak nan longe ak deplasman, epi yo ka itilize tou pou mezi sifas mikwo-topografi.
Dezyem lan se optik pwofonde mikwoskopik teknoloji mezi (STM). Prensip debaz li yo ki baze sou efe a tinel nan mekanik pwoposyon. Prensip li yo se sevi ak yon pwofonde tre byen file (oswa metod ki sanble) yo analysis sifas la mezire (pwofonde ak sifas la mezire se pa aktyelman nan kontak), ak aparans nan mikwoskopik twa dimansyon nan sifas la mezire avek ed nan yon nano-nivo twa dimansyon sistem kontwol pwezante. Sitou itilize pou mezire aparans nan mikwoskopik ak gwose nan sifas la.
Metod mezi le li sevi avek prensip sa a gen ladan: analysis tinel mikwoskop (STM), atomik fos mikwoskop (AFM), ak sou sa.