Klasifikasyon pa depo vapè pwodui chimik
Gen anpil metòd nan depozisyon vapè pwodui chimik, tankou presyon atmosferik CVD (APCVD), ki ba presyon CVD (LPCVD), ultra vakyòm CVD (UHVCVD), lazè vapè pwodui chimik lazè depozisyon (LCVD), metal-òganik depo vapè pwodui chimik (MOCVD) , Plosyon amelyore depo vapè chimik (PECVD), elatriye.